Seminar
| Date | 2024-04-30 |
|---|---|
| Time | 16:00 |
| Title | Challenges and Opportunities in Materials for Next-Generation Semiconductors |
■ 제 목: Challenges and Opportunities in Materials for Next-Generation Semiconductors
■ 연 사: 조윤정 마스터 (삼성전자 반도체연구소)
■ 일 시: 2024년 4월 30일(화) 오후 4시
■ 장 소: 응용공학동 1층 영상강의실
■ Host : 김경민 교수
■ Abstract :
반도체 산업에서 가장 중요한 이슈는 집적도를 높이기 위한 미세화 공정 기술 개발이다. 예전에는 새로운 공정 기술이 제안되면 이를 위한 소재의 확보가 자연스럽게 이루어져 왔으나, 이제는 소재의 능력에 의해 공정 기술 수준이 결정되는 사례가 발생하고 있다. 그만큼 반도체에서 소재가 차지하고 있는 중요도는 점점 증가하고 있다.
본 강연에서는 공정 기술 변화에 따른 반도체 소재의 기술 개발 trend 그리고, 특히 ALD 공정에서 Precursor 소재 기술의 중요성 및 향후 필요한 소재 개발 방향에 관해 논의해 보고자 한다.