Seminar

[Regular] 10/12 (Tue) 안진호 교수 (한양대학교 신소재공학부)
admin 2021-10-12 11:30:48
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Date 2021-10-12 
Time 16:00 
Title 새로운 기술의 진화, EUV 리소그라피 

■ 제 목:  새로운 기술의 진화, EUV 리소그라피

 

■ 연 사:  안진호 교수 (한양대학교 신소재공학부)             

 

■ 일 시:  2021년 10월 12(화) 오후 4시 

 

■ Host :  배병수 교수 

 

■ 참가자 접속정보 (3:50분까지 참가를 부탁드립니다)   

      접속 링크: https://kaist.zoom.us/j/8080757553 

      ID: 808 075 7553

      비밀번호: 2021mse

 

■ Abstract :  

기술의 발전은 필요에 의해 나타난다. 우리 사회의 인프라가 되어버린 반도체 기술은 지속적인 성능의 발전을 위해 계속적인 진화를 해 왔다. 하나의 반도체 칩이 발현할 수 있는 성능을 발전시키기 위해서 집적(integration)기술이 개발되어 왔고, 반도체 집적기술의 한 가운데에는 바로 리소그라피(노광) 기술이 있다. 최근 양산에 적용되기 시작한 EUV(극자외선) 리소그라피 기술은 앞서 사용되던 노광기술과는 전혀 다른 원리가 이용되면서, 여러 가지 기술적인 도전과제에 직면하고 있다. 본 강연에서는 반도체 산업의 중요성과 반도체 산업의 미래를 책임지게 된 EUV 리소그라피 기술에 관련해 간단히 소개하면서, 연구자로서 가져야할 도전정신을 함께 나누어 보고자 한다.

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