Seminar

Administrator 2012-10-12 11:05:44
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10월 2일 (화) 개최되는 신소재공학과 정기세미나를 아래와 같이 안내해드립니다.


= 아 래 =


1. 일 시 : 2012. 10. 2 (화), 16:00 ~
2. 장 소 : 응용공학동 1층 영상강의실
3. 연 사 : 김미정 박사 (삼성종합기술원)
4. 제 목 : Directed self-assembly for next generation lithography
5. 발표내용요약(Abstract)

  전자산업 발전의 핵심 기술인 리소그라피의 발전 현황을 살펴보고, 고집적화, 모바일, 기능통합된 미래전자산업의 구현을 위한 차세대 리소그라피 기술을 비교한다. 이중, 기존 opto-lithography와 블록공중합체 자기조립화된 패턴을 결합하는 directed self-assembly (DSA) lithography 기술에 대한 개요와 세계적 lithography 관련 회사들의 연구개발 동향 및 해결해야하는 기술적 이슈를 리뷰한다.