신소재공학과

행사일  
3월 18일 (화) 개최되는 봄학기 신소재공학과 정기세미나를 아래와 같이 안내해드립니다.


= 아 래 =


1. 일 시 : 2014. 3. 18 (화), 16:00 ~
2. 장 소 : 응용공학동 1층 영상강의실
3. 연 사 : 복 철 규 상무 (SK 하이닉스반도체 미래기술연구원)
4. 제 목 : Current Trends in Lithography
5. 발표내용요약(Abstract)

  반도체 Lithography 기술은 G-line → I-line → KrF를 거쳐 현재 양산 공정에서는 ArF(193nm) 광원을 사용하고 있습니다. ArF 이후의 Lithography 기술로써 EUV(13.5nm)를 개발해 오고 있으나, Source Power 부족, Mask Defect 문제 등으로 양산 적용이 지연되고 있습니다. 이로 인해, 반도체 Chip Size를 줄여서 1장의 Wafer에서 더 많은 Chip을 생산해내는 전통적인 방법이 어려움에 직면에 있으며 대신에 Chip Architecture를 2D→3D로 변경하여 Memory Density를 늘리는 전략으로 점차 전환되고 있는 시점입니다. 이런한 큰 변화속에서 Lithography 기술이 어떻게 움직이고 있는지 들여다 보았습니다.

No. Subject Author Date Views
Notice 7/25 (Wed) 김창섭 박사 (Department of MSE, MIT) ADMINI 2018.07.24 17
Notice 7/13 (Fri) Prof. Dong Ryeol Whang (Johannes Kepler University Linz,Austria) ADMINI 2018.07.09 13
Notice 6/5 (Tue) 이성환 교수 (Baylor University) ADMINI 2018.06.05 54
Notice 5/29 (Tue) 오상호 교수 (연세대학교 의과대학 피부과학교실) ADMINI 2018.05.29 51
Notice 5/15 (Tue) 김명길 교수 (중앙대 화학과) ADMINI 2018.05.15 93
132 11/28 (금) 오태식 박사 (University of Pennsylvania) Administrator 2014.11.26 2095
131 11/14 (금) Dr. Amanda K. Petford-Long (Argonne National Laboratory) file Administrator 2014.11.04 2044
130 2014 가을학기 정기세미나 일정 Administrator 2014.08.28 4486
129 8/25 (월) 김 현 석 교수(충남대학교 재료공학과) Administrator 2014.08.26 2536
128 8/21 (목) Prof. Frans Spaepen (Harvard University, School of Engineering and Applied Sciences) Administrator 2014.08.14 2134
127 7/21 (월) Jamie Warner (University of Oxford) Administrator 2014.07.16 2593
126 6/12 (목) 정호용 교수 (Florida State University 부임예정) Administrator 2014.06.09 2827
125 6/10 (화) 강성모 총장님 (KAIST) Administrator 2014.06.09 2106
124 6/3 (화) Prof. Alfredo Alexander-Katz (Dept. of MSE, MIT) Administrator 2014.06.03 3078
123 5/20 (화) 윤석진 박사 (한국과학기술연구원, 연구기획조정본부장) Administrator 2014.05.14 2743
122 5/14 (수) 김윤섭 (Univ. of Michigan, Ph.D. candidate) Administrator 2014.05.14 2566
121 4/30 (수) 김지환 박사 (IBM T.J. Watson Research Center) Administrator 2014.05.01 3067
120 4/29 (화) Dr. Aron Walsh (Univ. of Bath, UK) Administrator 2014.05.01 2097
119 4/29 (화) 박상희 교수 (KAIST 신소재공학과) Administrator 2014.04.23 3051
118 4/22 (화) 조은애 박사 (Fuel Cell Research Center, KIST) Administrator 2014.04.21 3449
117 4/15 (화) 김수호 박사 (Chief Technology Offiicer, Alantum Corporation) Administrator 2014.04.11 3033
116 4/8(화) 이종흔 교수 (고려대학교 신소재공학부) Administrator 2014.04.08 3975
115 4/1(화) 장호원 교수 (서울대학교 재료공학부) Administrator 2014.03.26 2935
114 3/27 (목) 남성욱 박사 (IBM T.J. Watson Research Center, Research Scientist) Administrator 2014.03.24 3575
113 3/25 (화) 황현상 교수 (포항공과대학교 신소재공학과) Administrator 2014.03.21 3145