신소재공학과

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3월 18일 (화) 개최되는 봄학기 신소재공학과 정기세미나를 아래와 같이 안내해드립니다.


= 아 래 =


1. 일 시 : 2014. 3. 18 (화), 16:00 ~
2. 장 소 : 응용공학동 1층 영상강의실
3. 연 사 : 복 철 규 상무 (SK 하이닉스반도체 미래기술연구원)
4. 제 목 : Current Trends in Lithography
5. 발표내용요약(Abstract)

  반도체 Lithography 기술은 G-line → I-line → KrF를 거쳐 현재 양산 공정에서는 ArF(193nm) 광원을 사용하고 있습니다. ArF 이후의 Lithography 기술로써 EUV(13.5nm)를 개발해 오고 있으나, Source Power 부족, Mask Defect 문제 등으로 양산 적용이 지연되고 있습니다. 이로 인해, 반도체 Chip Size를 줄여서 1장의 Wafer에서 더 많은 Chip을 생산해내는 전통적인 방법이 어려움에 직면에 있으며 대신에 Chip Architecture를 2D→3D로 변경하여 Memory Density를 늘리는 전략으로 점차 전환되고 있는 시점입니다. 이런한 큰 변화속에서 Lithography 기술이 어떻게 움직이고 있는지 들여다 보았습니다.


List of Articles
No. Category Subject Author Date Views
Notice Regular 3/26 (화) 장재범 교수 (KAIST 신소재공학과) ADMINI 2019.03.22 2
Notice Regular 3/19 (화) 조양구 박사 (한국표준과학연구원) ADMINI 2019.03.18 7
Notice Regular 3/12 (화) 유창동 교수 (KAIST 전기및전자공학부) ADMINI 2019.03.12 11
Notice Regular 2/26 (화) 김혜영 부회장/창업연구소장 (시니어벤처협회) ADMINI 2019.02.22 42
Notice Special 1/28 (Mon) 이용진 교수 (Shanghai Tech Univ.) ADMINI 2019.01.23 59
Notice Regular 12/4 (Tue) 정두석 교수 (한양대학교 신소재공학부) ADMINI 2018.11.30 143
Notice Regular 11/27 (Tue) 정성준 교수 (숭실대학교 유기신소재 파이버공학과) ADMINI 2018.11.26 131
155 Special 6/26(금) 최재영교수 (성균관대학교) TeamLeader 2015.06.15 1746
154 Special 6/16(화) Kazuo Kondo 박사 (Osaka Prefecture University, Department of Chemical Engineering) TeamLeader 2015.06.15 1624
153 Special 6/12(금) Prof. Mark P. Stoykovich (Department of Chemical and Biological Engineering, University of Colorado) TeamLeader 2015.06.09 1618
152 Regular 6/9(화) 임상혁 교수 (경희대학교 화학공학과) TeamLeader 2015.06.09 1916
151 Special 6/3(수) Prof. Nakasato / 창원대학교 (전, Sumitomo 근무) TeamLeader 2015.05.28 1816
150 Regular 6/2(화) Prof. Christopher Bielawski (UNIST 화학과) TeamLeader 2015.05.28 1633
149 Regular 5/26(화) 박성호 원장 (POSCO 기술연구원) TeamLeader 2015.05.28 1735
148 Regular 5/19(화) 안희준 교수 (한양대학교 유기나노공학과) TeamLeader 2015.05.18 1940
147 Special 5/15(금) Prof. James J. Moon (Univ. of Michigan) file TeamLeader 2015.05.13 1672
146 Regular 5/12(화) 임태원 상무 (현대자동차 중앙연구소) TeamLeader 2015.05.08 1969
145 Regular 4/28(화) 이상윤 전무 (삼성종합기술원) TeamLeader 2015.04.24 1803
144 Special 4/20(월) Prof. Milo Shaffer (Dept. of Chemistry, Imperial College London, The London Centre for Nanotechnology) file TeamLeader 2015.04.15 1673
143 Regular 4/14(화) 문회리 교수 (UNIST, 화학과) TeamLeader 2015.04.08 1791
142 Regular 4/7(화) 이현주 교수 (KAIST 생명화학공학과) TeamLeader 2015.04.01 1899
141 Special 3/25(Wed) Chatr Panithipongwut (Chulalongkorn University) TeamLeader 2015.03.23 1658
140 Regular 3/24(화) 김성웅교수 (성균관대학교 에너지과학과) TeamLeader 2015.03.18 1751
139 Regular 3/17(화) 안성태 교수 (KAIST 기업가정신진흥원) TeamLeader 2015.03.12 1856
138 Regular 3/10(화) 김준경 분원장 (KIST 전북분원 복합소재기술연구소) TeamLeader 2015.03.06 1511
137 3/4 (수) 한봉태 박사 (University of Maryland) file ADMINI 2015.03.04 1208
136 Regular 2015 가을학기 정기세미나 일정 file TeamLeader 2015.03.04 6843
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