신소재공학과

Extra Form
3월 18일 (화) 개최되는 봄학기 신소재공학과 정기세미나를 아래와 같이 안내해드립니다.


= 아 래 =


1. 일 시 : 2014. 3. 18 (화), 16:00 ~
2. 장 소 : 응용공학동 1층 영상강의실
3. 연 사 : 복 철 규 상무 (SK 하이닉스반도체 미래기술연구원)
4. 제 목 : Current Trends in Lithography
5. 발표내용요약(Abstract)

  반도체 Lithography 기술은 G-line → I-line → KrF를 거쳐 현재 양산 공정에서는 ArF(193nm) 광원을 사용하고 있습니다. ArF 이후의 Lithography 기술로써 EUV(13.5nm)를 개발해 오고 있으나, Source Power 부족, Mask Defect 문제 등으로 양산 적용이 지연되고 있습니다. 이로 인해, 반도체 Chip Size를 줄여서 1장의 Wafer에서 더 많은 Chip을 생산해내는 전통적인 방법이 어려움에 직면에 있으며 대신에 Chip Architecture를 2D→3D로 변경하여 Memory Density를 늘리는 전략으로 점차 전환되고 있는 시점입니다. 이런한 큰 변화속에서 Lithography 기술이 어떻게 움직이고 있는지 들여다 보았습니다.


List of Articles
No. Category Subject Author Date Views
Notice Regular 10/2 (Tue) 김도환 교수 (한양대학교) ADMINI 2018.10.01 30
Notice Regular 9/18 (Tue) 강성준 교수 (Kyung Hee Univ.) ADMINI 2018.09.17 34
Notice Regular 9/11 (Tue) 이병두 박사 (Argonne National Laboratory) ADMINI 2018.09.07 62
Notice Regular 9/4 (Tue) 강기범 교수 (신소재공학과, KAIST) ADMINI 2018.09.03 68
Notice Regular 8/28 (Tue) 김경민 교수 (KAIST, 신소재공학과) ADMINI 2018.08.29 63
Notice Special 8/24 (Fri) Prof. Joel W. Ager III (UC Berkeley, Lawrence Berkeley National Laboratory) file ADMINI 2018.08.20 60
140 Regular 3/24(화) 김성웅교수 (성균관대학교 에너지과학과) TeamLeader 2015.03.18 1739
139 Regular 3/17(화) 안성태 교수 (KAIST 기업가정신진흥원) TeamLeader 2015.03.12 1821
138 Regular 3/10(화) 김준경 분원장 (KIST 전북분원 복합소재기술연구소) TeamLeader 2015.03.06 1504
137 3/4 (수) 한봉태 박사 (University of Maryland) file ADMINI 2015.03.04 1202
136 Regular 2015 가을학기 정기세미나 일정 file TeamLeader 2015.03.04 6836
135 Special 3/3 (수) 조은애 교수 (PEM Fuel Cells for Sustainable Transportation) file admin 2015.03.02 1613
134 Special 12/17 (수) Dr. Ron Jansen (AIST, Tsukuba, Japan) Administrator 2014.12.17 1756
133 Special 12/16 (화) 노 준 홍 박사 (광에너지융합소재연구센터, 한국화학연구원) Administrator 2014.12.17 1777
132 Special 11/28 (금) 오태식 박사 (University of Pennsylvania) Administrator 2014.11.26 2098
131 Special 11/14 (금) Dr. Amanda K. Petford-Long (Argonne National Laboratory) file Administrator 2014.11.04 2047
130 Regular 2014 가을학기 정기세미나 일정 Administrator 2014.08.28 4489
129 Special 8/25 (월) 김 현 석 교수(충남대학교 재료공학과) Administrator 2014.08.26 2539
128 Special 8/21 (목) Prof. Frans Spaepen (Harvard University, School of Engineering and Applied Sciences) Administrator 2014.08.14 2137
127 Special 7/21 (월) Jamie Warner (University of Oxford) Administrator 2014.07.16 2596
126 Special 6/12 (목) 정호용 교수 (Florida State University 부임예정) Administrator 2014.06.09 2830
125 Regular 6/10 (화) 강성모 총장님 (KAIST) Administrator 2014.06.09 2109
124 Regular 6/3 (화) Prof. Alfredo Alexander-Katz (Dept. of MSE, MIT) Administrator 2014.06.03 3081
123 Regular 5/20 (화) 윤석진 박사 (한국과학기술연구원, 연구기획조정본부장) Administrator 2014.05.14 2746
122 Special 5/14 (수) 김윤섭 (Univ. of Michigan, Ph.D. candidate) Administrator 2014.05.14 2571
121 Special 4/30 (수) 김지환 박사 (IBM T.J. Watson Research Center) Administrator 2014.05.01 3070
Board Pagination ‹ Prev 1 ... 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 ... 14 Next ›
/ 14

Designed by sketchbooks.co.kr / sketchbook5 board skin

나눔글꼴 설치 안내


이 PC에는 나눔글꼴이 설치되어 있지 않습니다.

이 사이트를 나눔글꼴로 보기 위해서는
나눔글꼴을 설치해야 합니다.

설치 Cancel

Sketchbook5, 스케치북5

Sketchbook5, 스케치북5

Sketchbook5, 스케치북5

Sketchbook5, 스케치북5