신소재공학과

행사일 20171124 

■ 제      : Low Temperature Crystallization of Si films for TFTs by Laser Annealing on Panels

 

■ 연      : Takashi NOGUCHI  (University of the Ryukyus)


■ 일      : 2017년 11월 24일(금) 오후 2시

 

■ 장      :응용공학동 (W1-1) 1318강의실 (1318호)

 

■ H o s t  : 박상희 교수

 

■ Abstract : Laser Crystallizations using Blue Laser-Diodes Annealing (BLDA) as well as conventional Excimer Laser Annealing (ELA) are presented for mounting the TFTs on panels. On glass, high crystallinity of Si films can be obtained by using multi-shots ELA as well as CW laser scanning. In term of lower temperature TFT process on flexible plastic sheets, pulsed ELA of UV light is faborable. However, there are some issues after ELA. As a result of BLDA scanning for thin Si films, remarkable crystallization occurs with keeping the surface smooth not only for CVD film but also for sputtered Si film [5]. By changing the laser power of 445 nm beam, the grain size can be controlled from micro-grains to large grains as well as to anisotropic long crystal grains. For the Si films of heavily phosphorus doped condition, the resistivity decreased drastically after BLDA as well as after multi-shots ELAIn order to perform low temperature TFT process, metal source/drain (S/D)structure without using impurity doping is proposed for TFTs with low fabrication cost on panel. 

No. Subject Author Date Views
Notice 6/5 (화) 이성환 교수 (Baylor University) ADMINI 2018.06.05 3
Notice 5/29 (Tue) 오상호 교수 (연세대학교 의과대학 피부과학교실) ADMINI 2018.05.29 6
Notice 5/15 (Tue) 김명길 교수 (중앙대 화학과) ADMINI 2018.05.15 50
Notice 5/8 (Tue) 김주영 교수 (UNIST 신소재공학부) ADMINI 2018.05.09 52
Notice 5/1 (Tue) 윤덕용 명예교수 (KAIST 신소재공학과) ADMINI 2018.04.30 48
Notice 4/24 (Tue) 장경호 대표이사 (이녹스첨단소재, Innox Advanced Materials) ADMINI 2018.04.23 63
Notice 4/10 (Tue) 유기준 교수 (연세대학교 전기전자공학부) ADMINI 2018.04.09 112
Notice 4/3 (Tue) 최병기 마스터 (삼성전자종합기술원) ADMINI 2018.04.02 114
Notice 3/27 (Tue) 홍승범 교수 (KAIST MSE) ADMINI 2018.03.26 134
Notice 3/20 (Tue) 정인호 교수 (서울대학교 재료공학부) ADMINI 2018.03.20 142
Notice 3/13 (Tue) 백종범 교수 (School of Energy and Chemical Engineering, UNIST) ADMINI 2018.03.13 131
Notice 3/6 (Tue) 류석영 교수 (KAIST 전산학부) ADMINI 2018.03.05 137
Notice 2/27 (Tue) 한우진 박사 (NASA) ADMINI 2018.02.27 172
Notice 2/20 (Tue) 장재범 박사 (성균관대학) ADMINI 2018.02.19 168
Notice 2/8 (Thu) Prof. Pei-Chen Su (Nanyang Technological University) ADMINI 2018.02.05 159
Notice 2/13 (Tue) 김성규 교수 (Northwestern Univ) ADMINI 2018.01.31 182
270 2/25 (월) 홍승범박사 (Argonne National Laboratory) Administrator 2013.02.06 14363
269 3/20 (화) 정우철 박사 (California Institute of Technology) file Administrator 2012.03.15 11714
268 [공지] 2012년 봄학기 신소재공학과 정기세미나 안내 file Administrator 2012.02.13 10896
267 5/15 (화) 조문호 교수 (연세대학교 신소재공학과) Administrator 2012.05.09 10223
266 [공지] 2011년 가을학기 신소재공학과 정기세미나 안내 file Administrator 2011.11.04 9704
265 10/19 (수) Dr. Miso Kim (MIT) Administrator 2011.11.04 8540
264 9/6 (화) 남윤성 교수 (KAIST 신소재공학과) file Administrator 2011.11.04 8466
263 10/16 (화) 유현용 교수 (고려대학교 전기전자전파공학부) Administrator 2012.10.12 8246
262 10/18 (화) 이윤정 교수 (한양대학교 WCU, 에너지공학과) file Administrator 2011.11.04 8045
261 3/5 (화) 정우철 교수 (KAIST 신소재공학과) Administrator 2013.03.05 7946
260 11/1 (화) 윤명한 교수 (광주과학기술원 신소재공학부) file Administrator 2011.11.04 7894
259 3/19 (화) 신병하 박사 (IBM T.J. Watson Research Center) Administrator 2013.03.19 7867
258 11/15 (화) 김진웅 교수 (한양대학교 응용화학과) file Administrator 2011.12.05 7803
257 10/11 (화) 조성준 교수 (전남대학교 응용화학공학부 file Administrator 2011.11.04 7803
256 4/19 (화) 남기태 교수 (서울대학교 재료공학부) Administrator 2011.11.04 7776
255 12/13 (화) Prof. Aloysius Soon (연세대학교 신소재공학과) file Administrator 2011.12.07 7596
254 [WCU-FS 사업단 세미나] 6/29 (수) 16:00 Prof. Digby D. Macdonald (Pennsylvania State University) Administrator 2011.11.04 7451
253 2/22 (화) 16:00 김성준 교수 (서울대학교 전기공학부) Administrator 2011.11.04 7349
252 5/3 (화) 정현석 교수 (국민대학교 신소재공학부) Administrator 2011.11.04 7281
251 [WCU-FS 사업단 세미나] 6/7 (화) 조정대 박사 (한국기계연구원) Administrator 2011.11.04 7233